型 号：ESCALAB250

生产厂家：英国Thermo Electrom Corporation

购置时间：2004年12月29日

联系人：左志军，zuozhijun5134@163.com

主要技术指标：

1. 单色化X射线源

射线源类型：Al Kα (hν=1486.6 eV)；

2. 双阳极X射线源

射线源类型：Al／Mg双阳极靶射线源（Al Kα hν=1486.6 eV, Mg Kα hν=1253.6 eV）

3. 电子枪

分辨率：<10 nm

最小束斑：20 nm（直径）

束能：20~30 KeV

4. 电子能量分析器和检测器

类型：a) 半球型分析器，用于XPS、ISS、UPS和AES采谱；

b) 筒镜型分析器，用于独立AES系统；

检测器：电子倍增器

a) 通道电子倍增器（CEM）

b) 多通道板（MCP）；

成像：平行成像。

5. 分析室冷热台和预处理室冷热台

加热：室温～600℃连续可调，可保恒温；

致冷：室温～-150℃连续可调，可保恒温。

6. 谱仪灵敏度和检测限：

可检测元素周期表中除H和He以外所有元素，原子浓度检测限为：0.1~1.0 at%；

信息采样深度：<10 nm；

空间分辨率：<20 µm（小面积XPS），<1µm（成像XPS），15 nm（AES）。

主要用途：

1. 固体样品的表面元素定性和定量分析，同时进行元素化学价态分析；

2. 配合氩离子刻蚀方式和角分辨技术，可以进行材料的深度分析和界面分析。